玉崎科學ONYX 3200半導體設備理學Rigaku光學工具
玉崎科學半導體設備理學Rigaku光學工具

內聯(lián)雙頭微點 XRF
無損晶圓檢測和計量

雙 X 射線源（多毛細管/單色），

適用于最大 300 mm 的晶圓

產品型號：ONYX 3200
廠商性質：代理商
更新時間：2024-09-29
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Rigaku理學

單晶結構分析半導體測量設備

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玉崎科學半導體設備理學Rigaku光學工具

ONYX 3200 概述

ONYX 3200 是市場上先進的混合測量解決方案。這款第二代雙頭工具結合了先進的 μXRF 和光學技術，可在在線半導體制造中提供高精度的缺陷檢測和最高的吞吐量。

ONYX 系列系統(tǒng)旨在在從 FEOL 到 WLP 的整個制造過程中提供全面的計量方法。這包括適合先進封裝和單凸點應用的配置，并允許監(jiān)控 Ag/Sn 比率。

優(yōu)化源性能

用于過程監(jiān)控的單μbump測量
高產量和增加的吞吐量
準確分析金屬厚度和成分
對層厚度和成分的最大敏感性

二維顯微鏡	二維顯微鏡放大倍數(shù)	3D掃描儀

ONYX 3200 特點

雙頭 μXRF 配置提供分析靈活性，實現(xiàn)最佳應用性能

單色和多色 μXRF 光學系統(tǒng)

低功率X射線，無損分析

聚焦垂直激勵配置

通過排列四個硅漂移探測器（SDD）擴大有效面積并提高分辨率

成分分析和膜厚測量

全自動校準過程提供長期穩(wěn)定性、一致性和X射線管老化校正

實現(xiàn)亞微米精度的先進運動平臺

內聯(lián) HVM 測量的理想選擇

ONYX 3200 規(guī)格

測量類型	雙頭微點 EDXRF 和光學檢測 (2D-3D)
晶圓尺寸	最大300mm
晶圓類型	毯子和圖案晶圓
導航	精密平臺輔以圖像識別算法，可快速亞微米導航至單個特征中心
微型 XRF 光束方向	正入射微點 (μXRF)
光學系統(tǒng)	“多色"（X 射線光學）和顏色“單色"（X 射線光學）
微型 XRF 束斑尺寸	可調范圍為 10 至 50 µm
探測器類型	硅漂移探測器 (SDD)：3 種配置 1. 常規(guī) > Al 2. 輕元素：C、N、O、F、S 3. 重元素：> Ge（針對 Ag、Sn 進行了優(yōu)化）
DPP｜數(shù)字脈沖處理器	超過 100 萬光子/秒的高效率

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ONYX 3200 概述

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