玉崎科學(xué)XTRAIA XD-3300半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具

產(chǎn)品型號(hào)：XTRAIA XD-3200
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2024-09-29
訪問量：182

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類

CLASSIFICATION

Rigaku理學(xué)

單晶結(jié)構(gòu)分析半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備

查看全部

相關(guān)文章

新一代光譜輻射儀SR-5A
2025-03-05
推進(jìn)式攪拌槳葉的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)分別是什么？
2025-04-21
如何正確使用和維護(hù)ORC的UV-351照度計(jì)？
2025-05-10
DFL-1/DFL-5 在線浮子式密度計(jì)
2025-03-04
馬弗爐和干燥箱有何區(qū)別？主要觀點(diǎn)解讀
2025-04-09
氨基酸分析儀在醫(yī)藥與生物科學(xué)中的作用
2025-03-12
日本進(jìn)口恒溫箱品牌推薦
2025-04-18
日本哪個(gè)品牌做吸頭比較好?
2025-05-09
怎么選擇合適的靜電消除器
2025-05-06
脫泡攪拌機(jī)適用于哪些行業(yè)和領(lǐng)域?
2025-04-23

查看全部

詳細(xì)介紹

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

毯式晶圓和圖案晶圓的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3200 是一款多功能射線計(jì)量工具，可在大批量生產(chǎn)中以高通量對(duì)毯式和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進(jìn)行無損分析。

測(cè)量結(jié)果包括通過射線反射率 (XRR) 測(cè)量的膜厚度、密度和粗糙度，以及通過高分辨率 XRD (HRXRD) 測(cè)量的外延膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格弛豫和結(jié)晶度。

XTRAIA XD-3200 概述

適用于各種毯式晶圓應(yīng)用的射線計(jì)量解決方案

晶體管（SiGe）、LED/LD（GaN、GaAs、InP）、MEMS/傳感器（PZT、AlN）、新型存儲(chǔ)器（GST）、金屬膜、多層膜

這種*的射線計(jì)量工具能夠在大批量生產(chǎn)中對(duì) 300 毫米（和 200 毫米）無層晶圓（從超薄單層到多層堆疊）進(jìn)行高速測(cè)量。

XTRAIA 的性能歸功于

XTRAIA XD-3200 提供：

使用射線反射率 (XRR) 評(píng)估所有類型的單層和多層薄膜（非晶、多晶、外延）的厚度、密度和粗糙度。
高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 用于通過搖擺曲線 (RC) 和倒易空間映射 (RSM) 測(cè)量來評(píng)估外延膜的厚度、成分、應(yīng)變和結(jié)晶度。
可以使用 1/4× 支架測(cè)量扭轉(zhuǎn)/傾斜角和晶體取向（極點(diǎn)）。

XTRAIA XD-3200 特點(diǎn)

用于高效處理和過程監(jiān)控的內(nèi)聯(lián)功能

300 mm 和 200 mm 晶圓兼容性

采用高功率 (9 kW) 旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極 X 射線源

配備2D探測(cè)器，精確采集數(shù)據(jù)

用于靈活樣品定位的載物臺(tái)和測(cè)角儀

*的分析軟件提供全面的數(shù)據(jù)解釋支持

適用于大批量制造 (HVM) 的工廠自動(dòng)化功能（GEM300、E84/OHT 支持）

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

免费影视观看网站入口,亚洲国产精品无码成人片久久,亚洲暴爽av天天爽日日碰,年轻教师6电影完整版

玉崎科學(xué)XTRAIA XD-3300半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具

毯式晶圓和圖案晶圓的高分辨率 XRD 外延膜表征

XTRAIA XD-3200 概述

適用于各種毯式晶圓應(yīng)用的 射線計(jì)量解決方案

XTRAIA XD-3200 特點(diǎn)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：

玉崎科學(xué)XTRAIA XD-3300半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度

在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具

適用于各種毯式晶圓應(yīng)用的射線計(jì)量解決方案