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玉科精品HOBIBA堀場(chǎng)光纖式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀
簡(jiǎn)要描述:

玉科精品HOBIBA堀場(chǎng)CS-600F光纖式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀
玉科精品HOBIBA堀場(chǎng)光纖式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CS-600F
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-02-12
  • 訪  問(wèn)  量:128

詳細(xì)介紹

玉科精品HOBIBA堀場(chǎng)光纖式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀

玉科精品HOBIBA堀場(chǎng)光纖式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀

光纖式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀

CS-600F 系列

一種基于光纖的化學(xué)品濃度監(jiān)測(cè)儀,用于測(cè)量半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的化學(xué)品,如清洗和蝕刻。

可以測(cè)量濕法工藝所必需的高溫化學(xué)品。實(shí)現(xiàn)快速、穩(wěn)定和節(jié)省空間的解決方案,從而優(yōu)化化學(xué)品管理并提高其精度。

CS-600F 系列
測(cè)量
原理
吸收光譜法
計(jì)算
原理
溫度補(bǔ)償型多變量分析


樣品溶液
溫度
20?80°C
測(cè)量周期約 3 秒
LCD
顯示屏
(1) 測(cè)量值 (%)
(2) 濃度警報(bào) (HH/H/L/LL)
(3) 錯(cuò)誤代碼 (EXXX)
(4) 化學(xué)溫度 (°C)
(5) 串/并行通信狀態(tài) (P/S)
(6) 背景校正失敗次數(shù) (CXXX)
按鍵輸入(1) 濃度警報(bào)設(shè)置 (HH/H/L/LL)
(2) 濃度值偏移
(3) 背景校正
(4) 熱水校正
(5) 隨溫度變化的濃度變化
并行
輸入
輸入電壓為 12 V 至 30 V DC,通過(guò)光電耦合器
絕緣 (1) 并聯(lián)濃度警報(bào)輸出(開(kāi)/關(guān))
(2) 用于測(cè)量
的切換化學(xué)溶液(包括背景校正)
(3) 熱水校正
并行
輸出
晶體管輸出(NPN 集電極開(kāi)路),通過(guò)光電耦合器
絕緣 通電時(shí)的最大電流:5 mA DC(無(wú)內(nèi)部保護(hù)電阻)
斷電時(shí)的最大電壓:30 V DC
(1) 濃度警報(bào)(HH/H/L/LL 警報(bào)時(shí)打開(kāi))
(2) 監(jiān)控錯(cuò)誤(錯(cuò)誤時(shí)關(guān)閉)
(3) 測(cè)量(測(cè)量時(shí)打開(kāi))
(4) 測(cè)量
用化學(xué)溶液類(lèi)型 (5) 回波到熱水校正輸入
(6) 警告(發(fā)生時(shí)開(kāi)啟)
(7) 背景校正狀態(tài) 8) 熱水校正狀態(tài)
串行輸入RS-232C
(1) 要求讀取測(cè)量數(shù)據(jù)
(2) 選擇要測(cè)量
的化學(xué)溶液類(lèi)型 (3) 熱水校正
串行
輸出

RS-232C
(1) 實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)號(hào)
(2) 化學(xué)溶液類(lèi)型
(3) 濃度值
(4) 錯(cuò)誤代碼
(5) 化學(xué)溫度

模擬
輸出
4 mA 至 20 mA
如果出現(xiàn)監(jiān)視器錯(cuò)誤、停止測(cè)量或
選擇了無(wú)效的化學(xué)范圍,則信號(hào)輸出固定為 1.5 mA。負(fù)載電阻必須為最大值 500 Ω。
化學(xué)溶液
溫度輸入
接線端子入口(端子螺釘 M3)
鉑電阻溫度傳感器:Pt100
(三線型,A 級(jí)) *不包括溫度傳感器。
空氣
(用于作和吹掃)
連接端口:4 mm 外徑快速接頭、
壓力:0.2 MPa ±0.02 Mpa
電源100~230V AC(單相)、50/60Hz
功耗約 85 VA
(不包括啟動(dòng)時(shí)的瞬態(tài)電流)
重量(監(jiān)視器) 約 3.6 kg
(燈單元) 約 2.8 kg
(樣品池) 約 1.2 kg
環(huán)境溫度(顯示器、燈單元) 20°C 至 30°C
(樣品池、光纖) 20°C 至 35°C
(應(yīng)避免溫度突然變化,±1°C/1 小時(shí)內(nèi))
環(huán)境濕度(監(jiān)視器、燈裝置、樣品池)40% 至 70%(
應(yīng)無(wú)結(jié)露)
安裝時(shí)的傾斜角度(監(jiān)視器、Lamp 單元)在 ±1° 以內(nèi)
光纖長(zhǎng)度:5 m,最小彎曲半徑:R 150 mm


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