HOBIBA堀場(chǎng) CS-100F1光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀
HOBIBA堀場(chǎng) 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀

產(chǎn)品型號(hào)：CS-100F1
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-02-12
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HORIBA堀場(chǎng)

晶圓背面冷卻系統(tǒng) 濃度監(jiān)測(cè)儀蒸發(fā)器電阻率計(jì) 電導(dǎo)率儀水質(zhì)檢查器電極監(jiān)測(cè)儀 ph計(jì)

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詳細(xì)介紹

HOBIBA堀場(chǎng) 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀

光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀

CS-100F1 系列

基于光纖的在線實(shí)時(shí)化學(xué)品濃度監(jiān)測(cè)器，可測(cè)量半導(dǎo)體制造過程（如清潔和蝕刻）中使用的化學(xué)品。

可以獲得在線實(shí)時(shí)測(cè)量。單個(gè)濃度監(jiān)測(cè)器能夠同時(shí)測(cè)量多達(dá)四種類型（化學(xué)品或范圍），使其適用于單個(gè)晶圓清潔中的測(cè)量。

型	CS-151F1 系列	CS-152F1 系列	CS-150F1 型
測(cè)量對(duì)象	SC-1 （氨/過氧化氫水溶液）	SC-2 （鹽酸/過氧化氫水溶液）	SPM （硫酸/過氧化氫水溶液）
測(cè)量對(duì)象	一個(gè)單元最多可提供 4 種化學(xué)溶液或范圍的多重監(jiān)測(cè)。
測(cè)量原理	吸收光譜法
濃度計(jì)算原理	溫度補(bǔ)償多變量分析
測(cè)量范圍（質(zhì)量 %）	H2O2： 0.00% 至 5.00% H2O： 94.0% 至 100.0%	HCI：0.00% 至 2.00% H2O2：0.00% 至 2.00% H2O： 96.0% 至 100.0%	H2所以4：70.0% 至 96.0% H2O2： 0.00% 至 10.00% H2O： 4.0% 至 30.0%
重復(fù)性（質(zhì)量 %）（±1% 室溫內(nèi)）	H2O2： ±0.30% H2O： ±1.5%	HCI：±0.15% H2O2： ±0.15 % H2O： ±1.5%	H2所以4：±0.50% H2O2：±0.50% H2O： ±1.5%
重復(fù)性（質(zhì)量 %）（±1% 室溫內(nèi)）	?上述列表的重復(fù)性是針對(duì)單元類型的。請(qǐng)聯(lián)系我們了解在線比色皿類型的可重復(fù)性。 ?根據(jù)測(cè)量范圍，上述列表可能會(huì)有所不同。（詳情請(qǐng)參閱我們的網(wǎng)站。
樣品溶液溫度	20 到 80：（使用 Inline Cell 時(shí)）20 到 30：（使用 Cell Unit 時(shí)）
測(cè)量周期	約 3 秒
LCD 和輸入的內(nèi)容	• 第 1 個(gè)組件：測(cè)得的濃度值（%） •錯(cuò)誤代碼 • 第 2 個(gè)組件：測(cè)得的濃度值（%） •并聯(lián)濃度警報(bào)輸出無效狀態(tài) • 第 3 個(gè)組件：測(cè)得的濃度值（%） •串行/并聯(lián)狀態(tài) • 第 1 個(gè)和第 2 個(gè)組件：濃度警報(bào)狀態(tài) •背景補(bǔ)償數(shù)據(jù)
RS-232C 串行輸入	• 串行/并聯(lián)狀態(tài)切換 • 并聯(lián)濃度報(bào)警輸出狀態(tài) • 測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸請(qǐng)求（有效/無效） • 第 1 組分和第 2 組分濃度報(bào)警設(shè)置 • 目標(biāo)測(cè)量溶液切換
并行輸入	12 至 30 V DC（光電耦合器絕緣） • 并聯(lián)濃度報(bào)警輸出 • 目標(biāo)測(cè)量溶液切換 • 背景補(bǔ)償
并行輸出	集電極開路輸出（光電耦合器絕緣） • 第一成分濃度報(bào)警，4種開啟時(shí) 最大電流： • 第二成分濃度報(bào)警，4種DC 5 mA（無內(nèi)部保護(hù)電阻） • 設(shè)備錯(cuò)誤關(guān)閉時(shí)最大外加電壓：30 V DC • 測(cè)量 • 目標(biāo)測(cè)量溶液類型 • 背景補(bǔ)償狀態(tài)
溶液溫度輸入	接線端子連接（M3 端子螺釘） • 鉑電阻溫度傳感器：Pt100（Pt100 傳感器應(yīng)由客戶準(zhǔn)備）
模擬輸出	• 第 1 組分濃度警報(bào)，4 種類型：4 至 20 mA • 第 2 組分濃度警報(bào)，4 種類型：4 至 20 mA ?我們還支持其他測(cè)量范圍。請(qǐng)?jiān)谟嗁彆r(shí)注明。
光纜	專用 CS-100F1 系列光纜（25 ±15：安裝溫度）
樣品池	我們可以為各種化學(xué)溶液提供專用樣品池（在線池或池單元）。
電源	100 V 至 230 V AC（單相）±10%、50/60 Hz、約 100 VA
尺寸	205 （W） x 329 （D） x 269 （H） mm 8.1 （W） x 13.0 （D） x 10.6 （H）英寸（不包括突出部分）
重量	約 11 kg

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基于光纖的在線實(shí)時(shí)化學(xué)品濃度監(jiān)測(cè)器，可測(cè)量半導(dǎo)體制造過程（如清潔和蝕刻）中使用的化學(xué)品。

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基于光纖的在線實(shí)時(shí)化學(xué)品濃度監(jiān)測(cè)器，可測(cè)量半導(dǎo)體制造過程（如清潔和蝕刻）中使用的化學(xué)品。