在精密制造和科研領域，真空技術的潔凈與可靠性直接決定工藝成果的品質，而磁力耦合技術正是實現(xiàn)這一目標的關鍵創(chuàng)新。

在現(xiàn)代半導體制造、化工工藝和科研實驗中，真空泵的性能可靠性和潔凈度直接關系到生產工藝的穩(wěn)定性和產品的質量。傳統(tǒng)真空泵采用的軸封動態(tài)密封方式難以避免潤滑油的泄漏問題，不僅污染環(huán)境，更可能對精密生產工藝造成嚴重影響。

日本ULVAC愛發(fā)科開發(fā)的GHD-101油回轉真空泵磁力耦合器，通過磁力耦合傳動技術實現(xiàn)了動力傳輸的密封，從根本上解決了泄漏難題，為要求嚴苛的工業(yè)環(huán)境提供了可靠的真空解決方案。

01 磁力耦合技術：真空泵傳動的革新設計

磁力耦合器是GHD-101真空泵的核心技術，它改變了傳統(tǒng)的機械接觸式傳動方式。這種創(chuàng)新設計通過非接觸式的磁力傳動，將動力從電機傳遞至泵體。

其工作原理是利用永磁體的磁場耦合作用實現(xiàn)扭矩傳遞。內外磁鋼轉子被隔離罩分開，形成靜態(tài)密封。這種設計使得電機軸與泵軸之間無需物理連接，卻能高效傳遞動力。

磁力耦合器規(guī)格是GHD系列產品的標志性特點，它實現(xiàn)了動力傳輸部分的無油滲漏，顯著提高了設備的可靠性并延長了使用壽命。

與傳統(tǒng)的軸封設計相比，磁力耦合技術消除了磨損導致的泄漏路徑，使得GHD-101特別適合對潔凈度要求高的應用場景。

02 產品概述：高性能與可靠性的結合

GHD-101是ULVAC愛發(fā)科油回轉真空泵系列中的磁力耦合器規(guī)格產品，它屬于使用潤滑油的旋片式真空泵。

該產品以其高性能、低噪音和高可靠性著稱，是精密制造和實驗室環(huán)境中獲取中低真空的理想設備。

GHD-101具備大范圍電壓馬達，已取得CE，cTUVus等國際安全認證，滿足全球不同地區(qū)的用電標準。這種寬電壓設計使得設備能夠適應電壓波動，保證在不穩(wěn)定電網環(huán)境下的持續(xù)穩(wěn)定運行。

該真空泵還配備了防逆流機構，有效防止泵停止工作時油品反向流動，進一步增強了設備的可靠性和潔凈度。

03 核心技術參數：性能的量化體現(xiàn)

GHD-101油回轉真空泵在性能參數上表現(xiàn)出色，能夠滿足大多數工業(yè)應用的需求。

在抽速性能方面，該泵在50Hz電源下實際抽速為100L/min，在60Hz環(huán)境下可達120L/min，展現(xiàn)出良好的適應性和穩(wěn)定的抽氣效率。

其極限壓力可達到0.67Pa（通過皮拉尼表測量），在氣鎮(zhèn)閥開啟狀態(tài)下，極限壓力為6.7Pa，這一性能指標足以應對多數工業(yè)場景的真空需求。

該設備配備300W電機，油箱容量為1000mL，使用ULVAC專用的R-2真空泵油，確保最佳的性能和壽命。

在物理特性方面，GHD-101重量為22kg，進出口管道直徑為KF-25和G1，外形尺寸為150mm(寬) × 413.5mm(長) × 234.5mm(高)，結構緊湊，便于集成到各類設備中。

04 應用優(yōu)勢：多領域適用的技術特色

GHD-101磁力耦合器真空泵憑借其獨特的技術特點，在多個應用領域展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢。

1. 零泄漏保障

   磁力耦合器技術消除了軸封部位的油滲漏可能性。這一特性使得GHD-101特別適合半導體、藥品生產等對潔凈度要求高的行業(yè)，避免油污污染工藝環(huán)境。

2. 低維護需求

   非接觸式的傳動方式減少了機械磨損，顯著降低了設備的維護頻率和維護成本。與傳統(tǒng)真空泵相比，GHD-101無需定期更換軸封部件，減少了停機時間和備件庫存。

3. 環(huán)境友好

   密封的設計不僅防止了油品泄漏對環(huán)境的影響，也減少了真空泵油的消耗量。這符合現(xiàn)代工業(yè)對環(huán)保和可持續(xù)發(fā)展的要求，幫助企業(yè)實現(xiàn)更綠色的制造流程。

4. 寬電壓適應性

   支持多種電壓輸入（100V，115-120V，200V，220-240V），使GHD-101能夠無縫部署于全球各地的生產設施，無需擔心電源兼容性問題。

05 操作與維護：確保設備長期穩(wěn)定運行

正確的操作和定期維護是保證GHD-101真空泵長期穩(wěn)定運行的關鍵。

安裝調試時，需確保設備放置在水平堅固的表面，環(huán)境溫度保持在7-40℃范圍內。設備為室內專用設計，嚴禁暴露于雨水或室外環(huán)境中。

日常操作中，操作人員應定期檢查油位和油質，真空泵油在運轉過程中會逐漸變質，導致性能下降。發(fā)現(xiàn)油品污染或不足時，應及時補充或更換。

磁力耦合器部分雖無需定期更換易損件，但仍需注意工作環(huán)境，避免鐵磁性物質靠近強磁場區(qū)域。當設備長期運行后出現(xiàn)異常摩擦聲，可能是內部軸承磨損，需及時檢查更換。

在安全方面，雖然GHD-101配備了防返油機構，但制造商明確說明該機構不能保證100%防止回流。在精密應用中，建議采取額外的防護措施。

接近大氣壓運轉時，排氣口容易產生油煙（油霧），在潔凈環(huán)境使用時應考慮額外的處理措施。

從半導體晶圓制造到精密儀器生產，ULVAC愛發(fā)科GHD-101油回轉真空泵磁力耦合器以其的零泄漏特性和穩(wěn)定的抽氣性能，正在成為制造領域的基礎設備。

隨著工業(yè)技術對潔凈環(huán)境要求日益嚴格，磁力耦合技術代表的非接觸式傳動方案將成為真空設備的主流發(fā)展方向，為下一代精密制造奠定堅實基礎。